【信息公示】bte365官网推荐凯发送68 “物理气相沉积溅射仪”项目采购需求公示

bte365官网推荐凯发送68拟对“物理气相沉积溅射仪”项目进行采购,现将需求公示如下:

(一)项目基本信息

项目名称:物理气相沉积溅射仪

是否接受进口设备:是

(二)采购需求概况

采购此设备用于大于100nm的各类金属种子层的制备,例如Ti,Cu,Ni等,可以应用于先进封装制程中,用于材料和电镀药水的配方验证。

采购内容和数量:主机系统一套,包括传输模块,去气模块,清洗模块以及工艺沉积模块(不少于了两个腔室);真空模块,冷却模块以及动力模块;RGA模块,控制软件系统一套。 

简要技术需求:1:金属沉积速率>60nm/min; 2:可兼容8寸/12寸晶圆;3.镀铜表面粗糙度<3nm;4:刻蚀速率>15nm/min

(三)公示期限(不少于三个工作日)

2020年11月13日至2020年11月18日

任何供应商、单位或者个人对公示内容有异议的,请在公示期内以书面形式将意见反馈至采购人、同级财政部门。

(四)采购单位联系方式

采购单位:bte365官网推荐凯发送68

联系人: 姜老师

联系方式:0755-86392103


附件:【腾讯文档】供应商信息表https://docs.qq.com/sheet/DQVlMeW5WUmFzU3lO,请自行下载。